近日，由成都太科光電技術有限責任公司承擔的國家重點研發計劃重大科學儀器設備開發項目“超光滑表面無損檢測儀”在成都高新區啟動。該項目將通過專項帶動，集成國內優勢力量重點創新，解決高精度超光滑表面無損檢測的關鍵技術瓶頸，實現高端超光滑表面無損檢測儀器國產化，打破國外技術壟斷。

據了解，“超光滑表面無損檢測儀”是國家“十三五”重點研發計劃重大科學儀器設備開發項目，獲得科技部2000萬元、成都高新區200萬元資金支持，由企業牽頭，協同國內多家技術實力雄厚的大學、研究所和企業形成產、學、研、用相結合的項目團隊共同實施，主要用于高精度非接觸測量，可廣泛應用于高速集成電路、微電子集成電路等基片彎曲度、表面質量等關鍵參數的快速檢測。

摘自《中國高新技術產業導報》